




北京科儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限公司是國內(nèi)新興的一家專業(yè)從事真空領(lǐng)域的高新技術(shù)企業(yè)。
氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù),由于檢漏,簡便易操作,儀器反應(yīng)靈敏,精度高,不易受其他氣體的干擾,在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀是根據(jù)質(zhì)譜學(xué)原理,用氦氣作示漏氣體制成的氣密性檢測儀器。由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。標(biāo)準(zhǔn)器采用滲氦型標(biāo)準(zhǔn)漏孔,漏率標(biāo)稱值在(10-6~10-10)Pa·m3/s,不確定度不大于10%。
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檢漏儀使用中注意事項
檢漏儀在使用過程中需特別注意以下幾點:
①使用的電源電壓要在額定的電壓范圍之內(nèi),電壓過低儀器啟動困難,且性能不穩(wěn)定,電壓過高會燒壞電源,嚴(yán)重時還會燒毀母板的電路板和分子泵,應(yīng)連接穩(wěn)壓電源(UPS)。
②儀器在運行過程中不能移動。渦輪分子泵處于高速運轉(zhuǎn)中,若搬動檢漏儀,容易使分子泵內(nèi)的葉片與轉(zhuǎn)子的筒體相碰撞。
③檢漏儀應(yīng)按照說明書的要求定期進行保養(yǎng),保養(yǎng)的項目有更換機械泵油、更換過濾網(wǎng)、更換過濾器。
本文介紹了5 種檢漏儀常見故障的分析與處理方法,其中儀器內(nèi)部存在泄漏環(huán)節(jié)是一個易被忽視卻又易產(chǎn)生故障的環(huán)節(jié),當(dāng)檢漏部位的復(fù)檢結(jié)果不一致時,就需檢測儀器內(nèi)部是否有漏。檢漏儀內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊,定位難度大,本文采用切斷分子泵風(fēng)扇電源和使用小流量噴槍的方式,提高了密封部位定位的能力。檢漏儀是檢漏工作的核心部件,在使用過程中應(yīng)嚴(yán)格按照說明書的操作要求進行使用。文中以上出現(xiàn)的故障、現(xiàn)象的處理方式是本單位在多年使用過程中的一個總結(jié)和歸納。熱管需要檢漏原因:熱管內(nèi)部填充特殊液體用來增強熱傳導(dǎo)性能,如果熱管本身存在漏點,首先會影響熱管的導(dǎo)熱性能。對檢漏工作者具有一定的參考價值。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的校準(zhǔn)方法
氦質(zhì)譜檢漏儀廣泛應(yīng)用于制冷行業(yè)、核工業(yè)、電子行業(yè)、真空行業(yè)、電力行業(yè)、航空航天等行業(yè)。根據(jù)其工作原理和技術(shù)性能指標(biāo),通過實驗,總結(jié)通過氦質(zhì)譜檢漏儀對其漏率校準(zhǔn)的方法。
氦質(zhì)譜檢漏儀原理:
氦質(zhì)譜檢漏儀是一種以氦氣作為示漏氣體專門用于檢漏的質(zhì)譜分析儀器。其基本工作原理是采集被檢件中的氣體樣品并將其電離,根據(jù)不
氦質(zhì)譜檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)和電氣部分等組成。
氦質(zhì)譜檢漏儀的內(nèi)部一般有標(biāo)準(zhǔn)漏孔,可將標(biāo)準(zhǔn)漏孔拆卸進行校準(zhǔn),如果不能單獨校準(zhǔn)標(biāo)準(zhǔn)漏孔,就可考慮直接通過氦質(zhì)譜檢漏儀進行漏率部分的校準(zhǔn),本文主要討論這種情況下氦漏率的校準(zhǔn)方法。
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